IMFP(\)-非彈性平均自由程。具有一-定能量的電子連續發生兩次有效的非彈性碰撞之間所經過的平均距離(nm單位)，稱為電子的韭彈性平均自由程，在表面分析中是一個重要參數，它與電子能量和表面材料有關，它可用來估計具有不同特征能量的電子所攜帶的信息深度。
表面靈敏性：一般來講，分析方法的表面靈敏度依賴于所檢測的輻射。表面分析技術以電子能譜為中心，作為信息載體的特征，電子從被X射線照射的樣品中發射出，然后到達能量分析器和檢測器進行分析測量。在X射線光電子能譜中，盡管轟擊表面的X射線光子可透
入固體很深(~1um)，但由于電子在固體中的非彈性散射截面很大，只有小部分電子保持原有特征能量而逸出表面。可被檢測的無能量損失的出射電子僅來自于表面的1~10 nm。在固體較深處產生的電子也可能逸出，但在其逸出的路徑中會與其它原子碰撞而損失能量，因而它
們對分析是無用的。電子能譜的表面靈敏性是在固體中輸運而沒有被散射的短距電子的結果。
表1-1不同粒子透入固體樣品的深度
粒子類型 能量 透入深度
光子 1,000 eV . 1,000 nm
電子 1 ,000 eV 2 nm
離子 1,000 eV 1 nm
實驗表明電子在固體中非彈性散射截面很大，其非彈性平均自由程(具有一定能量的電子連續發生兩次有效的非彈性碰撞之間所經過的平均距離)很短。因此只有在極淺表層中的小部分電子保持原有特征能量而逸出表面。
